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太阳能电池专用扩散炉
POCl3 and PECVD
Furnaces |
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应用领域:
Solar
cell.
设备特性:
POCl3 furnaces and
PECVD ARC furnaces, 用于PV电池生产和研发.
·Up to 156mm x 156mm solar substrates.
Over 40” flat zone.
·Automatic cantilever substrate loading.
·POCl3 tubes and PECVD ARC tubes can
be built on the same furnace.
·POCl3 and ARC processes are provided.
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替换炉体
Furnaces Heating
Element
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应用领域:
直接替换炉体.
设备特性:
ProTemp Products 生产各种型号的 furnace heating
elements.
·适用于各种 OEM, ProTemp, Tempress, Kokusai,
TEL, ASM, Thermco, 等.
·Standard elements for direct replacement
of OEM elements.
·HiTemp™ elements for operating
temperatures to 1350°C.
·FasTemp™ elements for fast heating
and cooling applications. |
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太阳能电池光谱反应
Spectral Response,
QE |
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应用领域:
Solar
cell.
设备特性:
灵敏度高, 选项众多, 性能可靠.
符合IEC60904-8 标准.
·检测太阳能电池的光谱反应.
·独立检测设备, 或是和Solar Tester 结合使用.
·单色光可由光谱仪或是过滤片产生. 光谱范
围可达300-1200nm.
·可具有IQE和EQE检测能力. |
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太阳能电池测试仪
Solar Cell Tester |
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应用领域:
Solar
cell.
设备特性:
灵敏度高, 选项众多, 性能可靠.
·检测电池的效率以及各项参数指标. Cell efficiency, light
and dark I-V
curves,Isc, Voc,
Imax, Vmax,Pmax, FF, Rsh, and Rs.
·生产检测型(IEC60904-9 Class B标准)和研究开发型(IEC60904-9
Class A).
·可有 Spectral Response, Light Simulator
Spectrometer 等options. |
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太阳能电池组件测试仪
Solar Module Tester |
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应用领域:
Solar
cell.
设备特性:
灵敏度高, 选项众多, 性能可靠.
·检测电池组件的效率以及各项参数指标.
·生产检测型(IEC60904-9 Class B标准)和研究开发型(IEC60904-9
Class A).
·Simulator 可有Xenon pulsed illumination
或single flash.
·Standard AM1.5 Global, or AM1.0, 2.0
options. |
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ECV
扩散浓度检测
ECV Dopant Profiling |
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应用领域:
Solar
cell, IC, III-V, II-VI.
设备特性:
WEP is a world leader
in ECV dopant profiling.
·Electrochemical CV profiling - 电解液CV
(ECV)法检测掺杂-深度曲线.
·ECV 测量活性杂质, 直观简易, 优于 SIMS and SRP.
·ECV 广泛用于各种半导体工艺, Group IV (Si, Ge,
SiC), Group II/VI (GaAs, InP …),
Group II/VII (CdTe, HgCdTe,
ZnO …), Nitrides (GaN, AlGaN …), 及其它化合物半导
体 (AlGaAs, GaInP, AlGaInP
…). |
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四探针测试仪
Four Point Probes |
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应用领域:
IC fab, wafer manufacturing,
solar cell, LED, MEMS, FPD, photonics.
设备特性:
Four
Dimensions 提供从手动到全自动的系列四探针测试仪。
·产品质量高, 应用广, 在全球市场享有很高声誉和市场占有率。
·可测量离子注入层、外延层及各种薄膜的方块电阻，并由此导出电阻系数、薄膜厚度、离子
注入剂量。可具有高达12”直径自动
mapping 功能。 |
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非接触式电阻率测试仪
Contactless Resistivity
Systems |
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应用领域:
IC
fab, wafer manufacturing, solar cell,
LED, MEMS, FPD, photonics. 广泛用于 GaAs,
Si, and Metal characterizations.
设备特性:
Lehighton serves IC and electronics
industry for over 40 years.
·LEI contactless resistivity measurement
systems 以非接触方式检测 sheet resistance and
bulk resistivity.
LEI 提供从R&D 简易型到自动生产型等一系列型号.
·对样品表面无接触损害. |
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椭偏仪
Ellipsometer |
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应用领域:
IC
fab, wafer manufacturing, MEMS, LED,
solar cell, photonics, nano tech.
设备特性:
Gaertner 精密光学仪器具有一百多年的历史, 它的ellipsometers
享誉全球.
·用于精密检测各种薄膜的厚度, 包括oxide, nitride, metal
oxide, ITO.
·采用四极偏振器, 无转动器件, 稳定性强, 准确率高.
·膜厚范围可自0nm 到6000nm. 可具有达12”直径自动 mapping
功能. |
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微光斑薄膜测试仪
Micro-Spectrophotometer
for Thin Film Measurement |
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应用领域:
IC
fab, MEMS, photonics, nano technologies.
设备特性:
Angstrom Sun 微斑光谱薄膜测试仪广泛用于微小区域薄膜测试.
·可测多达5层的膜厚，可测反射、透射及吸收光谱. 检测光斑可小达5 μm.
·可具有高达12"直径自动 mapping 功能，软件功能强大.
·可具有高灵敏度数吗摄像功能.
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光谱薄膜测试仪
Spectro-Refelctometer
for Thin Film Measurement |
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应用领域:
IC fab, MEMS, LED, solar cell, photonics,
nano technologies.
设备特性:
Angstrom Sun 光谱反射仪广泛用于各种透明、半透明薄膜测试.
·广泛用于检测各种薄膜的厚度, 包括oxide, nitride, photo
resist, metal oxide, ITO.
·膜厚范围可自20nm 到5000nm. 可选各种光谱范围, 自UV 200nm到IR
1700nm.
·可具有高达12”直径自动 mapping 功能，软件功能强大. |
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