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晶圆几何特性检测
Wafer Measurement
Systems |
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应用领域:
Wafer
manufacturing (Si, GaAs等), IC fab, solar
cell, MEMS, photonics.
设备特性:
MTI 公司的晶圆几何特性检测设备包括从手动到全自动的系列产品.
·检测几何参数包括：Thickness, TTV, Bow, Warp,
and Flatness.
·采用独特的Push/Pull电容传感测试技术,可测试GaAs、SiC、Si等所有半导体材料.
·对普通电容传感式设备无法监测的高阻率材料,该设备都能监测. |
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四探针测试仪
Four Point Probes |
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应用领域:
IC fab, wafer manufacturing,
solar cell, LED, MEMS, FPD, photonics.
设备特性:
Four
Dimensions 提供从手动到全自动的系列四探针测试仪。
·产品质量高, 应用广, 在全球市场享有很高声誉和市场占有率。
·可测量离子注入层、外延层及各种薄膜的方块电阻，并由此导出电阻系数、薄膜厚度、离子
注入剂量。可具有高达12”直径自动
mapping 功能。 |
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汞探针测试仪
C-V Probes |
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应用领域:
IC
fab, wafer manufacturing, solar cell,
LED, MEMS, FPD, photonics.
设备特性:
Four Dimensions 提供从手动到全自动的系列汞探针C-V/I-V
测试仪。
·应用广泛: 介质薄膜品质, 外延层、离子注入层, 载流子浓度分布, 界面缺陷,
SOI晶片特性, 铁电
体材料特性等等。
·具有不同面积汞接触, 点-环接触等功能,针对厚膜、极薄膜及SOI等各类应用. |
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非接触式电阻率测试仪
Contactless Resistivity
Systems |
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应用领域:
IC
fab, wafer manufacturing, solar cell,
LED, MEMS, FPD, photonics. 广泛用于 GaAs,
Si, and Metal characterizations.
设备特性:
Lehighton serves IC and electronics
industry for over 40 years.
·LEI contactless resistivity measurement
systems 以非接触方式检测 sheet resistance and
bulk resistivity.
LEI 提供从R&D 简易型到自动生产型等一系列型号.
·对样品表面无接触损害. |
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非接触式迁移率测试仪
Non-Contact
Mobility Systems |
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应用领域:
IC
fab, wafer manufacturing, LED, MEMS,
FPD, photonics..
设备特性:
Lehighton serves IC and electronics
industry for over 40 years.
·对样品表面无接触损害
·LEI 提供一系列非接触式迁移率测试仪, non-contact Mobility
Measurement
Systems
·Measures various semiconductor transport
properties, including mobility,
carrier density
(sheet or bulk), via a non-contact measurement
method. |
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微光斑薄膜测试仪
Micro-Spectrophotometer
for Thin Film Measurement |
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应用领域:
IC
fab, MEMS, photonics, nano technologies.
设备特性:
Angstrom Sun 微斑光谱薄膜测试仪广泛用于微小区域薄膜测试.
·可测多达5层的膜厚，可测反射、透射及吸收光谱. 检测光斑可小达5 μm.
·可具有高达12"直径自动 mapping 功能，软件功能强大.
·可具有高灵敏度数吗摄像功能.
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光谱薄膜测试仪
Spectro-Refelctometer
for Thin Film Measurement |
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应用领域:
IC fab, MEMS, LED, solar cell, photonics,
nano technologies.
设备特性:
Angstrom Sun 光谱反射仪广泛用于各种透明、半透明薄膜测试.
·广泛用于检测各种薄膜的厚度, 包括oxide, nitride, photo
resist, metal oxide, ITO.
·膜厚范围可自20nm 到5000nm. 可选各种光谱范围, 自UV 200nm到IR
1700nm.
·可具有高达12”直径自动 mapping 功能，软件功能强大. |
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椭偏仪
Ellipsometer |
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应用领域:
IC
fab, wafer manufacturing, MEMS, LED,
solar cell, photonics, nano tech.
设备特性:
Gaertner 精密光学仪器具有一百多年的历史, 它的ellipsometers
享誉全球.
·用于精密检测各种薄膜的厚度, 包括oxide, nitride, metal
oxide, ITO.
·采用四极偏振器, 无转动器件, 稳定性强, 准确率高.
·膜厚范围可自0nm 到6000nm. 可具有达12”直径自动 mapping
功能. |
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