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    横式扩散炉 Horizontal Furnaces

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    横式扩散炉 Horizontal Furnaces

    1. 详细信息

    应用领域: IC fab, Solar Cell
    设备特性: Horizontal diffusion furnaces, excellent CoO.
    ·提供各种扩散炉: Atmospheric, LPCVD, PECVD, 4” to 12” wafers. 
    ·可配置多达4层炉管. 每层独立控制. 整机结构紧奏.
    ·自动控制, 自动工艺, 多种功能选择 
    ·优秀的性价比, excellent cost of ownership.

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