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    光谱薄膜测试仪 Spectro-Refelctometer for Thin Film Measurement

    • 型号光谱薄膜测试仪 Spectro-Refelctometer for Thin Film Measurement
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    光谱薄膜测试仪 Spectro-Refelctometer for Thin Film Measurement

    1. 详细信息

    应用领域: IC fab, MEMS, LED, solar cell, photonics, nano technologies. 
    设备特性: 光谱反射仪广泛用于各种透明、半透明薄膜测试.
    ·用于检测各种薄膜的厚度, 包括oxide, nitride, photo resist, metal oxide, ITO. 
    ·膜厚范围可自10 nm to 50 ?m. 可选各种光谱范围, 自UV 200nm到IR 1700nm, 以满足各类材料检测的需要. 
    ·可具有高达12”直径自动 mapping 功能. 可检测多达5层薄膜.

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