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    微光斑薄膜测试仪 Micro-Spectrophotometer for Thin Film Measurement

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    微光斑薄膜测试仪 Micro-Spectrophotometer for Thin Film Measurement

    1. 详细信息

    应用领域: IC fab, MEMS, photonics, nano technologies. 
    设备特性: Angstrom Sun 微斑光谱薄膜测试仪广泛用于微小区域薄膜测试. 
    ·可测多达5层的膜厚,可测反射、透射及吸收光谱. 检测光斑可小达5 μm. 
    ·光谱范围广, 检测膜厚达10 nm to 25 ?m. 
    ·可具有高达12”直径自动 mapping 功能,软件功能强大. 
    ·可具有高灵敏度数吗摄像功能.

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