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    晶格位挫检测 Wafer Slip Finder

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    晶格位挫检测 Wafer Slip Finder

    1. 详细信息

    应用领域: Wafer manufacturing (Si, GaAs等), IC fab, MEMS.
    设备特性: Automated submicron slip detection systems. 
    ·Epi, RTP, Diffusion, Annealing, SOI. 
    ·Blank wafers, device patterned wafers, SOI wafers.
    ·Up to 300 mm wafer sizes. 
    ·Manual models or high throughput automatic models.

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