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    椭偏仪 Ellipsometer

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    椭偏仪 Ellipsometer

    1. 详细信息

    应用领域: IC fab, wafer manufacturing, MEMS, LED, solar cell, photonics, nano tech. 
    设备特性: Gaertner 精密光学仪器具有一百多年的历史, 它的 ellipsometers 享誉全球. 有激光椭偏仪和光谱椭偏仪. 
    ·用于精密检测各种薄膜的厚度, 包括oxide, nitride, metal oxide, ITO. 
    ·采用四极偏振器, 无转动器件, 稳定性强, 准确率高. 
    ·膜厚范围可自0nm 到6000nm. 可具有达12”直径自动 mapping 功能.

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