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    ECV 掺杂浓度检测 ECV Dopant Profiling

    • 型号ECV 掺杂浓度检测 ECV Dopant Profiling
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    ECV 掺杂浓度检测 ECV Dopant Profiling

    1. 详细信息

    应用领域: Solar cell, IC, wafer manufacturing, MEMS, LED. 
    设备特性: WEP is a world leader in ECV dopant profiling. 
    ·Electrochemical CV profiling - 电解液CV (ECV)法检测掺杂-深度曲线.
    ·ECV 测量活性杂质, 直观简易, 优于 SIMS and SRP. 
    ·ECV 广泛用于各种半导体工艺, Group IV (Si, Ge, SiC), Group II/VI (GaAs, InP …), Group II/VII (CdTe, HgCdTe, ZnO …), Nitrides (GaN, AlGaN …), 及其它化合物半导体 (AlGaAs, GaInP, AlGaInP …)

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