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横式扩散炉 Horizontal Furnaces

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应用领域: IC fab, Solar Cell, MEMS, photonics, display.

  1. 详细信息

应用领域: 
IC fab, Solar Cell, MEMS, photonics, display.

设备特性: 
Horizontal diffusion furnaces, excellent CoO.

·提供各种扩散炉: Atmospheric, LPCVD, PECVD, 4” to 12” wafers. 

·可配置多达4层炉管每层独立控制整机结构紧奏.

·自动控制自动工艺多种功能选择 

·优秀的性价比, excellent cost of ownership.

 

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