应用领域:
IC fab, wafer manufacturing, solar cell, LED, MEMS, FPD, photonics.
设备特性: Four Dimensions 提供从手动到全自动的系列四探针测试仪。
· 产品质量高, 应用广, 在全球市场享有很高声誉和市场占有率。
· 可测量离子注入层、外延层及各种薄膜的方块电阻，并由此导出电阻系数、薄膜厚度、离子注入剂量。
· 可具有高达12”直径自动 mapping 功能。
· 精度高, 测量范围广
. Sheet resistance 可达 1E-3 to 8E+11 ohm/sq.
