应用领域:
IC fab,wafer manufacturing,MEMS,LED,Solar cell,photonics.
设备特性:
Gaertner 精密光学仪器具有一百多年的历史, 它的 ellipsometers 享誉全球. 有激光椭偏仪和光谱椭偏仪.
· 用于精密检测各种薄膜的厚度, 包括oxide, nitride, metal oxide, ITO.
· 采用四极偏振器, 无转动器件, 稳定性强, 准确率高.
· 膜厚范围可自0nm 到6000nm. 可具有达12”直径自动 mapping 功能.
